净化车间洁净度检测点的确定和空气洁净度的检测标准

发布者:中建南方时间:2017-02-20

净化车间洁净度检测点的确定和空气洁净度的检测标准

(1) 空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器,采样量应大于1L/ min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器;测试粒径大于等于0.1的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器(采样量每分钟28.3L);测试粒径小于0.1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器。

(2) 洁净度等级测试前,应先进行风速,风量、静压差、过滤器检漏和围护结构密闭性检测。

(3) 采样点确定

3.1应下式计算最少采样点

(3)

式中——最少采样点,四舍五入取整数;

——洁净室(区)的面积。在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以㎡计。

3.2 采样点应均匀分布于洁净室(区)的面积内,并位于工作区高度。

(4) 每次采样的最少采样量

4.1 每个采样点的每次采样量(VS)应按下式计算:

(4)

式中:——被测洁净室(区)空气洁净度等级被测粒径的允许限值(个/m3);

20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数。

4.2 每个采样点的采样量至少为2L,采样时间最少为1min,当洁净室(区)仅有1个采样点时,则在该点至少采样3次。

当Vs很大时,采样时间会很长,可参照采用ISO14644-1附录F中规定的顺序采样法。

(5) 对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室,采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。

(6) 室内测试人员必须穿洁净服,不得超过3人,应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。

(7) 每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按式C.1.7计算平均粒子浓度。

(7)

式中:Xi ——采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置;

Xi.1至Xi.n——每次采样的粒子浓度;

N——在采样点i的采样次数。

(8) 采样点为1个时,应按式7计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时,按式7计算各点的平均浓度后,再按式8计算洁净室(区)总平均值。

(8)

式中: X——各采样点平均值的总平均值;

Xi.1至 Xi.m——按式C.1.7计算的各个采样点的平均值,既洁净室(区)总平均值;

m——采样点的总数。

(9) 置信上限(UCL)的计算

9.1 当采样点只有1个或多于9个时,不计算95%置信上限。

9.2 采样点为1个以上10个以下时,根据式C.1.8计算出各采样点平均值和总平均值后,还应按式C.1.9.1计算出总平均值的标准偏差(S)。

(9-1)

9.3 最后按式B.1.9-2计算出总平均值的95%置信上限(UCL)。

(-2)

式中t——分布系数,见表1.9。

1.9 95%置信上限(UCL)的t分布系数

采样点数(m)

2

3

4

5

6

7~9

t

6.3

2.9

2.4

2.1

2.0

1.9

9.4 如果每个采样点测得粒子浓度的平均值以及洁净室总平均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值,则认为该洁净室(区)已达到规定的空气洁净度等级。

如果测试结果未能满足规定的空气洁净度等级,可增加均匀分布的新采样点进行测试,对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算的结果,作为最终检验结果。

(10) 空气洁净度等级计算例

10.1 被测洁净室面积(区)为1000m2,空气洁净度等级为ISO5级,规定受控粒子粒径为0.3μm(D1)、0.5μm(D2)。根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。

⑴ 规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围,并符合D2≥1.5D1的要求。

⑵ 计算最大允许悬浮粒子浓度

对≥0.3μm的粒子:

,取10200个/m3。

对≥0.5μm的粒子:

,取3520个/m3。

⑶ 按式(C.1.3)计算采样点数量:

,取32

由于采样点数大于10,不计算95%置信上限。

⑷ 采样点每次采样量(Vs),按式(B.1.4)计算

选用采样量为28L/min的粒子计数器。这一选择满足:VS>2L、Cn.m>20个/m3的要求,其采样时间≥1min。

在每个采样点仅作一次采样(28L/min),测试得到的计数记录如下:

采样点

粒子数(≥0.3μm)

粒子数(≥0.5μm)

采样点

粒子数(≥0.3μm)

粒子数(≥0.5μm)

1

265

58

17

68

25

2

66

48

18

58

35

3

195

18

19

202

15

4

125

28

20

222

0

5

134

18

21

212

8

6

165

16

22

178

9

7

172

8

23

158

10

8

74

9

24

142

12

9

105

7

25

118

13

10

115

38

26

116

0

11

135

17

27

128

2

12

168

16

28

108

3

13

85

15

29

98

4

14

95

12

30

138

6

15

188

11

31

148

8

16

162

0

32

118

9

洁净室测试数据,折算为每立方米的粒子数(Xi):

采样点

Xi(≥0.3μm)

Xi(≥0.5μm)

采样点

Xi(≥0.3μm)

Xi(≥0.5μm)

1

9464

2071

17

2428

893

2

2357

1714

18

2071

1250

3

6963

643

19

7213

536

4

4464

1000

20

7928

0

5

4785

643

21

7571

286

6

5892

571

22

6358

321

7

6142

286

23

5642

357

8

2643

321

24

5071

429

9

3750

250

25

4213

464

10

4107

1357

26

4142

0

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