净化车间洁净度检测点的确定和空气洁净度的检测标准
(1) 空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/ min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L）；测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。
(2) 洁净度等级测试前，应先进行风速，风量、静压差、过滤器检漏和围护结构密闭性检测。
(3) 采样点确定
3.1应下式计算最少采样点
（3）
式中——最少采样点，四舍五入取整数；
——洁净室（区）的面积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以㎡计。
3.2 采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。
(4) 每次采样的最少采样量
4.1 每个采样点的每次采样量（VS）应按下式计算：
（4）
式中：——被测洁净室（区）空气洁净度等级被测粒径的允许限值（个/m3）；
20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，可检测到的粒子数。
4.2 每个采样点的采样量至少为2L，采样时间最少为1min，当洁净室（区）仅有1个采样点时，则在该点至少采样3次。
当Vs很大时，采样时间会很长，可参照采用ISO14644-1附录F中规定的顺序采样法。
(5) 对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。
(6) 室内测试人员必须穿洁净服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。
(7) 每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按式C.1.7计算平均粒子浓度。
（7）
式中：Xi ——采样点i的平均粒子浓度，i可代表任何位置；
Xi.1至Xi.n——每次采样的粒子浓度；
N——在采样点i的采样次数。
(8) 采样点为1个时，应按式7计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时，按式7计算各点的平均浓度后，再按式8计算洁净室（区）总平均值。
（8）
式中： X——各采样点平均值的总平均值；
Xi.1至 Xi.m——按式C.1.7计算的各个采样点的平均值，既洁净室（区）总平均值；
m——采样点的总数。
(9) 置信上限（UCL）的计算
9.1 当采样点只有1个或多于9个时，不计算95%置信上限。
9.2 采样点为1个以上10个以下时，根据式C.1.8计算出各采样点平均值和总平均值后，还应按式C.1.9.1计算出总平均值的标准偏差（S）。
（9-1）
9.3 最后按式B.1.9-2计算出总平均值的95%置信上限（UCL）。
（-2）
式中t——分布系数，见表1.9。
1.9 95%置信上限（UCL）的t分布系数
|
采样点数（m） |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7～9 |
|
t |
6.3 |
2.9 |
2.4 |
2.1 |
2.0 |
1.9 |
9.4 如果每个采样点测得粒子浓度的平均值以及洁净室总平均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值，则认为该洁净室（区）已达到规定的空气洁净度等级。
如果测试结果未能满足规定的空气洁净度等级，可增加均匀分布的新采样点进行测试，对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算的结果，作为最终检验结果。
(10) 空气洁净度等级计算例
10.1 被测洁净室面积（区）为1000m2，空气洁净度等级为ISO5级，规定受控粒子粒径为0.3μm（D1）、0.5μm（D2）。根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。
⑴ 规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围，并符合D2≥1.5D1的要求。
⑵ 计算最大允许悬浮粒子浓度
对≥0.3μm的粒子：
，取10200个/m3。
对≥0.5μm的粒子：
，取3520个/m3。
⑶ 按式（C.1.3）计算采样点数量：
，取32
由于采样点数大于10，不计算95%置信上限。
⑷ 采样点每次采样量（Vs），按式(B.1.4)计算
选用采样量为28L/min的粒子计数器。这一选择满足：VS>2L、Cn.m>20个/m3的要求，其采样时间≥1min。
在每个采样点仅作一次采样（28L/min），测试得到的计数记录如下：
|
采样点 |
粒子数(≥0.3μm) |
粒子数(≥0.5μm） |
采样点 |
粒子数（≥0.3μm） |
粒子数（≥0.5μm） |
|
1 |
265 |
58 |
17 |
68 |
25 |
|
2 |
66 |
48 |
18 |
58 |
35 |
|
3 |
195 |
18 |
19 |
202 |
15 |
|
4 |
125 |
28 |
20 |
222 |
0 |
|
5 |
134 |
18 |
21 |
212 |
8 |
|
6 |
165 |
16 |
22 |
178 |
9 |
|
7 |
172 |
8 |
23 |
158 |
10 |
|
8 |
74 |
9 |
24 |
142 |
12 |
|
9 |
105 |
7 |
25 |
118 |
13 |
|
10 |
115 |
38 |
26 |
116 |
0 |
|
11 |
135 |
17 |
27 |
128 |
2 |
|
12 |
168 |
16 |
28 |
108 |
3 |
|
13 |
85 |
15 |
29 |
98 |
4 |
|
14 |
95 |
12 |
30 |
138 |
6 |
|
15 |
188 |
11 |
31 |
148 |
8 |
|
16 |
162 |
0 |
32 |
118 |
9 |
以洁净室测试数据,折算为每立方米的粒子数(Xi):
|
采样点 |
Xi(≥0.3μm) |
Xi(≥0.5μm） |
采样点 |
Xi(≥0.3μm) |
Xi(≥0.5μm） |
|
1 |
9464 |
2071 |
17 |
2428 |
893 |
|
2 |
2357 |
1714 |
18 |
2071 |
1250 |
|
3 |
6963 |
643 |
19 |
7213 |
536 |
|
4 |
4464 |
1000 |
20 |
7928 |
0 |
|
5 |
4785 |
643 |
21 |
7571 |
286 |
|
6 |
5892 |
571 |
22 |
6358 |
321 |
|
7 |
6142 |
286 |
23 |
5642 |
357 |
|
8 |
2643 |
321 |
24 |
5071 |
429 |
|
9 |
3750 |
250 |
25 |
4213 |
464 |
|
10 |
4107 |
1357 |
26 |
4142 |
0 |
