洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级

发布者:中建南方时间:2016-11-30

洁净室(无尘车间)及相关受控环境按粒子浓度划分表面洁净度等级

SCP等级

粒径

0.005 µm

0.1 µm

0.05 µm

5µm

0.001 µm

10µm

50 µm

100 µm

500µm

Scp1

(200)

100

20

(10)

Scp2

(2000)

1000

200

100

(20)

(10)

Scp3

(20000)

10000

2000

1000

(200)

(100)

Scp4

(200000)

100000

20000

10000

2000

1000

(200)

(100)

Scp5

1000000

200000

100000

20000

10000

2000

1000

(200)

Scp6

(10000000)

2000000

1000000

200000

100000

20000

10000

2000

Scp7

10000000

2000000

1000000

200000

10000

20000

Scp8

100000000

2000000

1000000

200000

表中的值是每1平方米的表面积上等于或大于关注数粒径的离子浓度及SCP等级括号内的数字,其对应的粒径不应用于分级选择七大粒径进行分级,对较低SCP级别的分级要有大量的测量结果以确立有效值

洁净室及相关受控环境——按纳米粒子浓度划分空气洁净度等级按悬浮粒子浓度划分空气洁净度等级扩展到纳米尺度分级表

ISO 14644-12 粒径范围(NPC

ISO 14644-1 粒径范围(APC

0.001 µm1 nm

0.005µ5 nm

0.01µm10nm

0.05 µm50 nm

0.1 µm

0.2 µm

0.3 µm

0.5 µm

1 µm

5 µm

1

145000 g

5080

1200

e

10e

e

e

e

e

f

2

1 450 000 g

50 800

12 000

423

100

24 c

10e

e

e

f

3

14 500 000 g

508000

120 000 b

4230

1000

237

102 b

35 e

e

f

4

145 000 000 g

508000

1 200 000

423 00

10000

2370

1020

352

83 e

f

5

d

50 800 000

12 000 000

423000

100000

23700

10200

35 20

8 32

f

6

d

d

d

4 230 000

1000 000

237000

102000

35 200

8 320

293

7

d

d

d

d

d

d

d

35 200 0

8 320 0

2930

8

d

d

d

d

d

d

d

35 200 00

8 320 00

29300

9

d

d

d

d

d

d

d

35 200 000

8 320 000

293000

注:a)纳米粒子浓度分级表必须与ISO 14644-1分级表配合使用。

b)ISO-NPC 3120 000个粒子是包括所有粒径≥ 10 nm 粒子的累计浓度。ISO-APC 335个粒子是关注粒径(considerd≥ 0.5 µm 时,空气中悬浮粒子的最大浓度限值(maximun concentration limit)。

c)分级采样量要大,见ISO 14644-1序贯采样法。

d)粒子浓度过高,限值不适用。

e)由于采样和统计的局部性,该低浓度不适合于分级。

f)由于在采样系统中可能的粒子损失,使得低浓度和> 1 µm的粒径不适合于分级。

g)颁布时该粒径计数超出当前仪器测量范围,本栏供未来使用。

同一个洁净度要求,洁净室处于不同的占有状态,其污染的程度不同:

(1)关注粒径(Considered Particle Size): 0.1 µm0.2 µm0.3 µm0.5 µm1 µm5 µm 0.1 µm~ 0.2 µm 12英寸芯片厂受控环境关注的粒径。 0.2 µm~ 0.3 µm 为空气过滤器最宜穿透粒径 MPPSMost penetrating particulate size)。0.5 µm~ 5 µm 与细菌的粒径相近(GMP-2010,洁净区悬浮粒子的关注粒径为:0.5 µm5 µm)。

(2)国际上取得共识的技术定义是,ISO 5——≥ 0.5 µm 的粒子最大浓度限值为 3520/m 3。空气中的悬浮粒子为分散系,具有随机性和不确定性;计量时引入统计学概率:95%置信上限(UCL, Upper confidence Limit)。

(3)国内一些国家规范关于洁净度的分级表述不确切,定为区间值: ISO 5——≥ 0.5 µm的尘粒数为>350/m 3 ≤3500/m 3 。造成技术概念上的混乱

(4)ISO 洁净室洁净度等级分为9个级别。ISO 1级(≥0.1 µm10/m3)尚无工程应用;ISO 9级(≥0.5 µm3520万粒/m 3 )工程中很少应用,GMP-98版中曾使用30万级(≥0.5 µm1050万粒/m 3 )。ISO 5级(≥0.5 µm,粒子最大浓度限值3520/m 3)相当于美联邦标准FS 209百级(≥0.5 µm,粒子 最大浓度限值3530/m3,或100/ft3)。

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