应用案例 | 化学过滤器在电子行业的应用

发布者:中建南方时间:2022-06-23

在集成半导体器件、微电子等高科技企业,随着产品工序复杂性的增加和产品制程线宽的缩小,空气中的气态分子污染物(以下简称AMC)常会引起产品的成品率下降、性能退化及失效



国际半导体设备和材料协会在SEMI F21-95、F21-1102中给出了AMC气体的分类体系。该标准适用于半导体业的洁净环境,指定了4个“标准范围”:酸(MA),碱(MB),冷凝物(MC)及杂质(MD),如下表:




AMC的危害,以电路板为例:电路板中最常见的化学故障是铜蠕变腐蚀和表面安装组件中的镀银腐蚀,含硫气体和湿气能腐蚀电路板上所有暴露在外的镀铜,生成的硫化铜能够引起电路板蠕变,并会造成临近的相隔功能部件短路。同时含硫气体能腐蚀银,并生成硫化银;硫化银大量聚集后会产生机械压力,破坏封装的完整性,导致发生进一步的腐蚀,直到部件中的所有银全都耗尽,最终导致断路。




在洁净室中,污染不仅包括严格意义上的灰尘微粒,还包括有任何干扰作用的固体、液体、气体、热、电磁等。洁净室中大都装有高效过滤器或超高效过滤器,它们对于控制0.5微米以上的粒子非常有效,但是对于小分子的AMC却并没有很好的效果,且过滤方式为传统的物理过滤方式,有二次污染的风险,这就需要用到化学过滤器,这与化学过滤器的工作原理密不可分。


化学过滤器有选择的吸附有害气体分子,而不是像普通的过滤器那样机械的“过滤”杂质,如空气中的异味、腐蚀气体、有毒气体等。


化学过滤器通常采用活性炭、活性氧化铝、离子交换树脂等净化媒介作为过滤材料。中建南方提供多种化学过滤产品,通过合理的配置达到去除污染物的最佳效果。

 


不同行业的不同场所对气态污染物净化后的浓度要求不同,在半导体、微电子等行业,使用化学过滤器可有效去除“分子级污染物”,保护敏感的电子系统、印刷电路板制造不受酸性气体、湿气的影响,提高产品质量,提升产品良率,同时保护工作人员健康。


中建南方拥有多款不同类型的化学过滤器,能有效降低环境中AMC浓度,可根据您的空间跟实际需求,为您提供合适的空气净化方案。


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