FFU风机过滤单元在净化空调系统中的应用

发布者:中建南方时间:2022-02-12

      随着生产工艺的不断更新,生产环节的FFU风机过滤单元在半导体微电子的生产过程中,其产品的成品率和可靠性有很大程度取决于车间的洁净度及设备。

      洁净室是指空气悬浮粒子浓度、含菌浓度受控的房间。洁净室一般建成后,布局不能随意改动,但由于生产工艺的不断更新,使得原有的洁净室厂房洁净度布局不能满足新工艺的需求,导致洁净室洁净厂房由于产品换代而需要频繁改动,大量浪费财力、物力。传统的净化空调系统主要采用集中送风的方式,即通过空气处理设备(加热器、冷却器、加湿器、初效/中效过滤器等)和风机均集中安装在空调机房内,高效过滤器安装在系统的末端,用集中的送、回风管将空气处理设备与洁净室相连。这种方式有一个显著的缺点就是灵活性较差,一旦生产工艺调整导致车间的洁净度需要调整,几乎是不可能实现。

      FFU作为一种新型净化设备,在洁净领域占有重要地位。FFU在洁净车间的洁净度的控制上,具有高度灵活性,通过增减FFU净化过滤单元数量,是车间局部洁净度的调整和布局,就可以满足生产工艺改动带来的洁净室需求的变化。同时FFU净化过滤单元自带动力、风口、灯具,可以节省大量的投资。

      净化空调采用FFU送风方式,顶部均布FFU,FFU在净化空调系统中充当净化循环组,洁净室的循环风量等于洁净室内FFU风量总和。FFU洁净方式可以实现空气洁净等级要求在ISO3-ISO9(即1级~100万级)之间的洁净室。

FFU通风方式与传统集中送风方式的优缺点分析

(1)FFU通风方式系统灵活,可随时调整

      因洁净室的壁板都是以天花板格子的模数来布置,由于其特殊节点的构造,洁净室的壁板可以随时调整,来改变布局,如果车间的洁净度需要调整,可以通过增减FFU的数量来实现。

(2)低能耗

       从FFU的组成部件来看,需要消耗能量的只有微型风机,FFU系统风管很少,除新风以风管送达外,大量的回风以小循环的方式在运行,大大减少风管阻力消耗。虽然使用FFU风机过滤系统初期投资比风管通风高,但在后期运行中,FFU一般比集中送风的净化系统节能30%以上,更节能、且免维护。

(3)出风均匀稳定

      FFU自带风机,音系出风均匀稳定,避免了集中送风系统各送风口风量平衡的问题。

(4)节省空间

      FFU净化系统省去了送回风管,可节省安装空间。

(5)负压密封

      FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口存在泄露,也是洁净室向静压箱泄露,不会导致对洁净室的污染。

      FFU系统的缺点:风机数量大,故障几率大。且FFU布置在吊顶上,维修有一定的困难。而集中送风系统因设备较为集中,数量少,易于维护。也正是因为FFU系统数量众多而分散,一般少量的FFU故障并不会对整个车间的洁净度造成很大的影响,而集中送风系统只要一台AHU出现故障,会造成大面积的洁净室停止运行。

 

 


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