房间编号

洁净室级别

取样点

粒径μm

取样点测定的粒子数(粒/m3)

UCL值(粒/m3)

浮游菌(个/m3)

结论

1

2

3

108

1万

1

≥0.5

≥5.0

2

≥0.5

≥5.0

109

1万

1

≥0.5

≥5.0

2

≥0.5

≥5.0

110

1万

1

≥0.5

≥5.0

2

≥0.5

≥5.0

111

1万

1

≥0.5

≥5.0

2

≥0.5

≥5.0

112

1万

1

≥0.5

≥5.0

2

≥0.5

≥5.0

113

1万

1

≥0.5

≥5.0

2

≥0.5

≥5.0

114

1万

1

≥0.5

≥5.0

2

≥0.5

≥5.0

标准规定：万级：≥0.5μm,悬浮粒子(粒/m3)≤350000;≥5μm,悬浮粒子(粒/m3)≤2000；浮游菌≤100

         百级洁净室：≥0.5μm,悬浮粒子(粒/m3)≤3500; ≥5μm,悬浮粒子(粒/m3)为0；  浮游菌≤5

结果评价：

检查人：                    年  月  日       复核人：                   年  月  日