电子、光电子无尘车间设计参数要求及检测项目

发布者:中建南方时间:2017-04-17

电子、光电子无尘车间设计参数要求及检测项目

   无尘车间检测内容及范围:无尘车间的状态测定确定:根据设计要求,用专业的工具对无尘车间内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,(如特殊要求动态测定)需要制定或参照相关的技术标准。

   1、无尘车间测试状态的确定;2、空气中粒子的浓度测试;3、气流的风速和单向性测定;4、风量和换气次数的测定;5、净化过滤器的整体性能测定;6、无尘车间空气湿度和温度测定;7、无尘车间的密闭性测定;8、无尘车间表面洁净度测定;

电子无尘车间温湿度及压差的简单汇总

产品工序

空气洁净度等级(级)

温度(℃)

相对湿度

(%)

相对低级别

洁净室的正压(Pa)

半导体材料

拉单晶

4~5(0.3µm)

23±2

45±5

≥5

切、磨、抛

5~7(0.3µm)

23±2

45±5

≥5

清洗

4~7(0.3µm)

23±2

45±5

≥5

外延

3~5(0.3µm)

23±2

45±5

≥5

芯片制造(前工序)

氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜,离子注入

2~5(0.1~0.3µm)

23±1

45±5

≥5

光刻

1~4(0.1~0.3)

22±0.1

23±1

45±5

≥5

检测

3~6(0.1~0.3)

23±2

45±5

≥5

设备区

6~8(0.1~0.3)

23±5

45±10

≥5

封装(后工序)

划片,键合

5~7(0.3)

21±1

50±5

≥5

封装

6~8(0.3)

23±1

50±5

≥5

TFT

LCD

薄膜光刻、刻蚀、剥离

2~3(0.1)

23±1

45±5

≥5

涂复

1~3(0.1)

23±1

45±5

≥5

模块

4~5(0.3)

23±2

45±10

≥5

组装

6~7(0.3)

23±2

45±5

≥5

STN-LCD

6~7(0.3)

(局部5级)

23±2

45±5

≥5

HDD

制造区

3~4(0.1)

23±1

45±5

≥5

其他区

6~7(0.3)

23±1

45±10

≥5

PDP

核心区

5(0.3)

23±1

45±5

≥5

支持区

6~7(0.3)

23±2

45~60

≥5

锂电池

干工艺区

6~7(0.5)

23±2

2

≥5

其他区

7~8(0.5)

23±2

15

≥5

彩色

显象管

涂屏电子枪装配荧光粉

7(0.5)

23±2

45±5

≥5

锥子墨涂复荫罩

8(0.5)

23±2

45±5

≥5

电子仪器

微型计算机装配

8(0.5)

20~23±2

/

≥5

   深圳市中建南方环境股份有限公司专业的电子,光电子工业无尘车间设计,安装,施工,维护的知名企业,公司拥有10多年的专业净化工程方案供应商,专家团队,专业技术人员,提供专业的净化技术上方案服务。

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