电子、光电子无尘车间设计参数要求及检测项目
无尘车间检测内容及范围：无尘车间的状态测定确定：根据设计要求，用专业的工具对无尘车间内的空气进行静态检测，一般不做动态检测，(如特殊要求动态测定)需要制定或参照相关的技术标准。
1、无尘车间测试状态的确定；2、空气中粒子的浓度测试；3、气流的风速和单向性测定；4、风量和换气次数的测定；5、净化过滤器的整体性能测定；6、无尘车间空气湿度和温度测定；7、无尘车间的密闭性测定；8、无尘车间表面洁净度测定；
电子无尘车间温湿度及压差的简单汇总
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产品工序 |
空气洁净度等级（级） |
温度（℃） |
相对湿度 （%） |
相对低级别 洁净室的正压（Pa） |
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半导体材料 |
拉单晶 |
4~5（0.3µm） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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切、磨、抛 |
5~7（0.3µm） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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清洗 |
4~7（0.3µm） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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外延 |
3~5（0.3µm） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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芯片制造（前工序） |
氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜，离子注入 |
2~5（0.1~0.3µm） |
23±1 |
45±5 |
≥5 |
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光刻 |
1~4（0.1~0.3） |
22±0.1 23±1 |
45±5 |
≥5 |
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检测 |
3~6（0.1~0.3） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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设备区 |
6~8（0.1~0.3） |
23±5 |
45±10 |
≥5 |
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封装（后工序） |
划片，键合 |
5~7（0.3） |
21±1 |
50±5 |
≥5 |
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封装 |
6~8（0.3） |
23±1 |
50±5 |
≥5 |
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TFT LCD |
薄膜光刻、刻蚀、剥离 |
2~3（0.1） |
23±1 |
45±5 |
≥5 |
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涂复 |
1~3（0.1） |
23±1 |
45±5 |
≥5 |
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模块 |
4~5（0.3） |
23±2 |
45±10 |
≥5 |
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组装 |
6~7（0.3） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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STN-LCD |
6~7（0.3） （局部5级） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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HDD |
制造区 |
3~4（0.1） |
23±1 |
45±5 |
≥5 |
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其他区 |
6~7（0.3） |
23±1 |
45±10 |
≥5 |
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PDP |
核心区 |
5（0.3） |
23±1 |
45±5 |
≥5 |
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支持区 |
6~7（0.3） |
23±2 |
45~60 |
≥5 |
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锂电池 |
干工艺区 |
6~7（0.5） |
23±2 |
2 |
≥5 |
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其他区 |
7~8（0.5） |
23±2 |
15 |
≥5 |
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彩色 显象管 |
涂屏电子枪装配荧光粉 |
7（0.5） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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锥子墨涂复荫罩 |
8（0.5） |
23±2 |
45±5 |
≥5 |
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电子仪器 |
微型计算机装配 |
8（0.5） |
20~23±2 |
/ |
≥5 |
深圳市中建南方环境股份有限公司专业的电子，光电子工业无尘车间设计，安装，施工，维护的知名企业，公司拥有10多年的专业净化工程方案供应商，专家团队，专业技术人员，提供专业的净化技术上方案服务。
