净化车间设施测试方法及实施顺序
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选择测试方法和顺序 |
测试方法 |
测试仪器 |
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1 |
空气悬浮粒子计数（等级划分和检测） |
离散粒子计数器（DPC） |
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2 |
空气悬浮微粒子计数 |
凝结核粒子计数器(CNC) |
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离散粒子计数器(DPC) |
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小粒子清除装置 |
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3 |
空气悬浮宏粒子计数 |
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4 |
空气悬浮宏粒子的采集与计数 |
显微镜观测采过样的滤纸 |
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多级撞击器 |
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5 |
空气悬浮宏粒子计数（无采集） |
离散粒子计数器(DPC) |
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飞行时间粒子仪 |
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6 |
气流 |
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7 |
单向流设施的风速测量 |
热风速计 |
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超声波风速计（3维或相当3维） |
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旋翼风速计 |
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皮托管与压力计 |
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8 |
非单向流设施的送风风速测量 |
热风速计 |
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超声波风速计（3维或相当3维） |
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叶片风速计 |
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皮托管与压力计 |
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9 |
过滤器下风向总风量测量 |
风罩式风量计 |
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孔板流速计 |
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文丘里流量计 |
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10 |
送风管风量测量 |
风罩式风量计 |
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孔板流速计 |
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文丘里流量计 |
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皮托管与压力计 |
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11 |
压差测量 |
电子微压计 |
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斜管压力计 |
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机械式压差计 |
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12 |
过滤器安装后检漏 |
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13 |
过滤器系统安装后检漏扫描 |
对数气溶胶光度计 |
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线性气溶胶光度计 |
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离散粒子计数器(DPC) |
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气溶胶发生器 |
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气溶胶源物质 |
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稀释系统 |
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凝结核计数器 |
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14 |
安装在风管或空气处理机组上的过滤器之测试 |
线性气溶胶光度计 |
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对数气溶胶光度计 |
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离散粒子计数器(DPC) |
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气溶胶发生器 |
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气溶胶物质 |
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稀释系统 |
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凝结核计数器 |
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15 |
气流方向和目检 |
示踪剂 |
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热风速计 |
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3维超声波风速计 |
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气溶胶发生器 |
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烟雾发生器 |
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16 |
温度 |
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17 |
一般温度 |
玻璃温度计 |
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温度计 |
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电阻温度计 |
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热敏电阻 |
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18 |
综合温度 |
玻璃温度计 |
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温度计 |
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电阻温度计 |
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热敏电阻 |
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19 |
湿度 |
湿度监测器（电容式） |
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湿度监测器（毛发式） |
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露点传感器 |
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测湿计 |
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20 |
静电与电离器 |
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21 |
静电 |
静电压计 |
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高阻欧姆计 |
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充电板监测器 |
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22 |
电离器 |
静电压计 |
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高阻欧姆计 |
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充电板监测器 |
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23 |
粒子沉降 |
验证板 |
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双目显微镜 |
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粒子沉降光度计 |
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表面粒子计数器 |
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粒子发生器 |
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24 |
自净时间 |
离散粒子计数器 |
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气溶胶发生器 |
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稀释系统 |
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25 |
密封性检漏 |
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26 |
离散粒子计数器法(DPC) |
离散粒子计数器(DPC) |
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气溶胶发生器 |
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稀释系统 |
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27 |
光度计法 |
光度计 |
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气溶胶发生器 |
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注：a 、测试人员可在第1列的格中按测试项目顺序为所选的测试方法编号，顺序自由选择。 b 、测试人员可按所选的测试方法选择测试仪器对净化设备测试。www.zjnf.cn |
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