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净化知识

无尘室标准/洁净室(无尘车间)等级划分

作者: 深圳市中建南方环境股份有限公司发表时间:2017-05-17 09:25:34浏览量:2882

无尘室标准/洁净室(无尘车间)等级划分,无尘室(洁净室)根据洁净程度不同分很多等级。目前各行业无尘室等级大都为1000级和100级的居多,数字越小,洁净等级越高。深圳市中建南方环境股份公司供应无尘车间等级、无尘室级别、洁净工程洁净等级标准、无尘室等级划分、无尘车间标准设计规范方案服务。
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无尘室标准/洁净室(无尘车间)等级划分

   无尘室(洁净室)根据洁净程度不同分很多等级。目前各行业无尘室等级大都为1000级和100级的居多,数字越小,洁净等级越高。

   一、无尘室概念

   尘室(洁净室)1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗 ;

   无尘室(洁净室)100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗 ;

   注意了:每个等级所管控的颗粒大小也不一样;

   依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(洁净室)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级;

   如果无尘室(洁净室)的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

   二、无尘室分类

   1、乱流式(Turbulent Flow):

   空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

   优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。

   缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

   2、层流式(Laminar):

   层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:

   (1)无尘车间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

   优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。

   缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。

   (2)无尘车间垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

   优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

   缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。

   3、复合式(Mixed Type):

   复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

   (1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区 与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。

   (2)无尘车间洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

   (3)无尘车间并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;即属此类。

   (4)洁净工作台:等级Class 1~100级。

   (5)洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10M2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。

   三、无尘车间-无尘室(洁净室)标准等级

   现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格,BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格)。 其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5以下时,表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。 在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级1、2•••8,8阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,依次类推。

美国联邦标准209E(1992年)PC/ft3洁净度级别:粒径(um)


0.1

0.1

0.3

0.5

5.0

1

35

7.5

3

1

NA

10

350

75

30

10

NA

100

NA

750

300

100

NA

1000

NA

NA

NA

1000

7

10000

NA

NA

NA

10000

70

100000

NA

NA

NA

100000

700

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