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FFU净化单元
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ffu风机

产品分类:FFU净化单元

产品型号:ZN-FFU(X)

产品描述:FFU 层流送风单元模块可连接使用 , 使得 FFU 广泛应用洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和层流罩等应用场合。 FFU 设有初、高效两级过滤网。风机从 FFU 顶部将空气吸入并经初、高效过滤器,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/S±20% 的风速匀速送出。

产品特点:噪音小,风量大,效率高,维护方便

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产品详情

  • 产品介绍
  • 产品参数
  • 安装维护

FFU净化单元介绍:

     FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。

  FFU层流送风单元模块可连接使用,使得FFU广泛应用洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和层流罩等应用场合。FFU设有初、高效两极过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器.过滤后的洁净空气在整个出风面0.45m/s±20%的风速匀速送出。

  采用美国最新技术,适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和减少振动,也可大大降低造价,安装维护方便,是洁净环境的理想部件。

FFU组合的关键性能参数:

  模数尺寸(ceiling modular size):安装吊顶龙骨中心线的间距,FFU常用的标准模数尺寸为1200X600(4’X2’),1200X900(4’X3’),1200X1200(4’X4’)。

  实际尺寸(actual size):FFU过滤器的实际尺寸=模数尺寸-(龙骨断面宽度-25mm),风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的吊顶龙骨端面宽度为55mm,模数尺寸为1200,900,600所对应的FFU过滤器实际尺寸为1170,870,570,风机模块的实际尺寸为1174,874,574。

  机外余压(ESP):在某一设定风速下,风机模块的总静压(TSP)扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力,即为机外余压(ESP),单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力,无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP,都必需指名送风风速或风量,否则没有意义。

  输入能耗(input power consumption):FFU正常运转时输入电压和输入电流的乘积,单位是W。显然,FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,输入能耗不同。因此,如果不指明运行工况点,输入能耗值没有意义。

  单体噪音(noise level):根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2mm处的噪音值,单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,噪音不同。因此,如果不指明运行工况点,噪音值没有意义。

  微振(micro vibration):根据标准IES-RP-CC002,FFU在最大运转工况点时的振动幅度和振动速率,单位分别是mm和mm/s。

  送风均匀度(air uniformity):根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时,在距离出风面上方150mm(6”)的水平面上测量逐点的风速,得出平均风速值。平均风速与最大风速和最小风速的偏差比即为送风均匀度,单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。

  过滤器效率等级(filter grade):依据欧洲标准EN1822,过滤器等级从H10-H14,U15-U17。或依据美国标准MIL-282(HEPA),对于0.3um的效率值;依据美国标准IES-RP-CC007.1,对于0.12um的效率值。

阻力与风量关系图


FFU净化单元规格参数

规格型号

ZN-FFU-

ZN-FFU-

外型尺寸(W*L*Hmm

575*575*320

1175*1175*350

风量(m3/h

1300

2300

风速(m/s

0.45±20%

高效过滤器规格、数量

570*570*691PCS

1170*1170*691PCS

净化级别

100级(美国联邦标准209E

过滤效率

99.99%@MPPS

箱体材质

进口环保覆铝锌板(可订制作各种材质和颜色)

噪声

58db

电源

220V  50Hz单相

净重

22.5Kg

35Kg

FFU具有特点:

  第一:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。

  第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。

  第三:负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。

  第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。

  第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。

定期维护项目:

部件位置

征兆及可能原因

评价标准,确认点

检查频率

部件寿命

马达

(1)轴承损坏而使马达运转不平顺或死锁。

(2)绝缘不良造成过热、过载导致线圈烧损。

(3)电源连接或端子的绝缘不良,而造成异常发热、接地错误、层间短路…..等。

确认马达有无异音、振动及味道,用耳朵确认轴承有无异常声音。

绝缘阻抗须大于5MΩ以上。

检查电缆线及端子有无破损或锈蚀,更换不良部件。

一年一次

5年以上

离心风扇

(1)因灰尘迭积或破损使得运转不平衡而损坏。

检查离心风扇有无异音、振动及破损,更换不良部件。

一年一次

5年

其它的电气部件及配线材料

(1)绝缘不良,端子螺丝松脱而造成过热、短路或烧损。

(2)配线表皮破损而造成短路、漏电或损伤。

检查有无过热、锈蚀、暴露的导体,配线表皮破损…..等。

绝缘阻抗须大于5MΩ以上。

锁紧端子螺丝(每三年一次)更换不良部件。

一年一次

5年

滤网

(1)因阻塞而造成风速减低。

(2)因化学药品而造成滤网材质、迫紧、阻隙材不良而使灰尘泄漏。

(3)因外部热源造成滤网材质不良。

目视检查滤网材质、迫紧、阻隙有无刮伤、褪色、变形。

检查泄漏更换不良部件。

一年一次

 (视不同使用场所需要而定)

外箱及其它组件

因化学药品而使部件腐蚀或生锈产生灰尘。

目视检查部件有无不良、褪色….等。

一年一次

其它部件8年

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